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近年來，已開發(fā)出從大氣壓到高真空，僅用一臺泵就能實(shí)現(xiàn)的新型真空泵。但一般來說，為了獲得高真空、超高真空及極高真空，還是串聯(lián)多臺真空泵構(gòu)成機(jī)組形式來完成抽氣任務(wù)的。因此，正確了解蹦的工作原理、主要性能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及分類等，對于用戶選擇經(jīng)濟(jì)適用的真空泵是非常重要的。
真空泵是用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。按期工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體補(bǔ)集泵兩種類型。
1、氣體輸送泵。是一種能使氣體不斷吸入和排出泵外以達(dá)到抽氣目的的真空泵。這種氣體輸送泵分為變?nèi)菔胶蛣恿總鬏斒絻纱箢悺?/p>
變?nèi)菡婵毡?/strong>是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣、壓縮和排氣的裝置。這種泵分為往復(fù)式和旋轉(zhuǎn)式兩種。
往復(fù)式真空泵利用泵腔內(nèi)活塞的往復(fù)運(yùn)動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱它為活塞式真空泵。
旋轉(zhuǎn)式真空泵。利用泵腔內(nèi)活塞的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，將氣體吸入、壓縮并排出。屬于此類的泵種有很多：
油封式機(jī)械泵。是利用油類密封各運(yùn)動部件的間隙，減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡�。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故稱氣鎮(zhèn)式真空。按其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為：旋片真空泵、定片泵、滑閥泵、余擺線泵以及多室旋片泵等。
無油真空泵。目前所謂的干式真空泵。一般通用的說法是：能在大氣壓到10﹣²Pa的壓力范圍內(nèi)工作的真空泵，在泵的抽氣流道（如泵腔）中，不能使用任何油類和密封液體，排氣口與大氣相通，能連續(xù)向大氣中排氣的泵，即稱為干式真空泵。按其工作原理分，也有容積式干式泵，如多級羅茨泵、多級活塞泵、爪型泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵等；此外還有動量傳輸式干式泵，如渦輪干式泵、離心干式泵等。這種蹦的抽氣不再有油的污染了，是近期開發(fā)研制較多的泵種。
液環(huán)真空泵。帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，把液體（水或油類）拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子上的葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣，由于液環(huán)起到壓縮氣體的作用，故又稱它為液體活塞真空泵。
羅茨真空泵。泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間均保持有一定的間隙。它屬于無內(nèi)壓縮式的真空泵。按用途又分為濕式羅茨泵、直排大氣式羅茨泵和機(jī)械增壓泵等類型。
2、動量傳輸式真空泵
動量傳輸式真空泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給被抽氣體或氣體分子，使之吸入、壓縮、排氣的一種真空泵。這種泵可分為以下幾種形式。
分子真空泵。是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子表面與氣體分子相碰，把動量傳給氣體分子使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種形式。
牽引分子泵。高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子表面與氣體分子相碰，把動量傳給氣體分子，將氣體分子拖到泵的出口排出。因此，它是一種動量傳輸泵。
渦輪分子泵。泵內(nèi)裝有多級帶槽的圓盤或葉片的轉(zhuǎn)子，在定子圓盤（或定片）間旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子的圓周線速度很高，這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
復(fù)合式分子泵。是由渦輪分子泵和牽引式分子泵經(jīng)優(yōu)化組合，串聯(lián)起來工作的一種真空，可在分子流或過渡流狀態(tài)下工作。
噴射真空泵。是利用文丘里效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到泵出口的一種能量傳輸泵，適于在黏滯流和過渡流狀態(tài)下工作的真空泵。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機(jī) 空壓機(jī)修訂日期：2017-06-08
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