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真空泵在我們的日常生活和工作中是極為常見的。干式螺桿真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。我們今天介紹下我們的德耐爾干式螺桿真空泵。
工作原理
螺桿真空泵利用一對(duì)螺桿在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪聲低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油。
①主動(dòng)轉(zhuǎn)子 ②從動(dòng)轉(zhuǎn)子 ③吸氣腔 ④運(yùn)送腔 ⑤排氣腔
性能優(yōu)勢(shì)
·節(jié)能：功耗比同類產(chǎn)品降低20%以上；
·可靠：干式結(jié)構(gòu)泵腔，機(jī)械變?nèi)輭嚎s，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的工藝真空；
·環(huán)保：零污水排放，無(wú)環(huán)保壓力，節(jié)省污水處理費(fèi)用；
·增效：不污染溶劑，便于回收溶劑，增加效益；
·易維護(hù)：無(wú)需做特別的維護(hù)，基本無(wú)維修費(fèi)用，省事、省心；
·冷卻：水量比同類產(chǎn)品節(jié)約90%以上，且對(duì)冷卻溫度要求不苛刻；
·防腐：可選用鎳磷、哈氏合金等涂層或選配鈦合金等整體材質(zhì)。
等螺距真空泵
·國(guó)家專利(ZL 201921451548.2)；
·粗抽效率高，可以穩(wěn)定運(yùn)行于粗真空工況，極大擴(kuò)展了工作壓力范圍；
·無(wú)內(nèi)壓縮，泵溫高，適宜抽速易凝結(jié)、易結(jié)晶的氣體；
·轉(zhuǎn)子間隙大，固體粉塵與冷凝液不易在轉(zhuǎn)子間和泵腔內(nèi)沉積。
·國(guó)家專利（ZL 201921451576.4）；
·氣體返流小，消耗功率低，更節(jié)能；
·排氣溫度以及工作溫度低，適宜抽除易燃易爆，易結(jié)焦的氣體；
·排氣反沖的氣體量少，從根本上降低了泵的運(yùn)行溫度和噪音。
選配件示意圖
1.氣動(dòng)蝶閥 2.螺桿真空泵 3.過濾器 4.氣液分離器 5.儲(chǔ)液筒 6.消音器 7.調(diào)壓表
·選配1 氮?dú)獯祾呓Y(jié)構(gòu)
·選配2 排氣消音結(jié)構(gòu)
·選配3 溶劑沖洗結(jié)構(gòu)
性能特點(diǎn)
1、潔凈真空
工作腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑油，零污染；工藝氣體回收利用率高；尾氣處理方便，降低使用安全風(fēng)險(xiǎn)和運(yùn)行成本；
2、冷卻性能
采用夾套冷卻，使用少量冷卻循環(huán)水，即可穩(wěn)定的運(yùn)行；
3、使用工況
宜抽取可凝性、腐蝕性、易燃易爆、易結(jié)晶、易凝固等氣體，適用于各種惡劣的工況；
4、穩(wěn)定可靠
多級(jí)螺旋式轉(zhuǎn)子，取消中隔板結(jié)構(gòu)，無(wú)中間級(jí)吸排氣過程，工作過程簡(jiǎn)單、連續(xù)、效率高；
5、易維護(hù)
轉(zhuǎn)子無(wú)接觸、無(wú)磨損，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，零件少，維護(hù)方便，整機(jī)壽命長(zhǎng)；
6、適應(yīng)性強(qiáng)
進(jìn)氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作，可與羅茨泵、分子泵等組合，可作為前級(jí)泵使用，抽氣效率高。
應(yīng)用行業(yè)
1、化工2、制藥 3、鋰電池 4、冶金系統(tǒng)5、鍍膜 6、新能源 7、光伏 8、汽車9、香料 10、航空航天 11、科研院所 12、半導(dǎo)體
德耐爾股份業(yè)務(wù)
產(chǎn)品涵蓋離心式壓縮機(jī)、噴油螺桿空壓機(jī)、無(wú)油空壓機(jī)、移
動(dòng)式空壓機(jī)、往復(fù)式壓縮機(jī)、工業(yè)真空泵、空氣源熱泵等七大工業(yè)氣體應(yīng)用領(lǐng)域
秉持高端·節(jié)能·直銷的產(chǎn)品與服務(wù)定位
集研發(fā)、制造、直銷與服務(wù)于一體
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機(jī) 空壓機(jī)修訂日期：2023-04-07
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